中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”
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2026年02月14日
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”，专利申请号为CN202110591882.3，授权日为2026年2月13日。
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专利摘要：本发明公开了一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统，所述静电吸附装置包括装置本体以及位于装置本体内的静电产生模块与静电控制模块；所述静电产生模块用于产生静电，所述静电控制模块用于控制所述静电产生模块是否产生静电以及所产生静电的大小；所述静电吸附装置的底部设置有绝缘部件。本发明的静电吸附装置可产生静电真空反应腔内的吸附边缘环或颗粒物，实现在不打开真空反应腔的情况下更换受损耗的边缘环或移除真空反应腔内的颗粒物。此外，静电吸附装置底部的绝缘部件，可以提高静电吸附装置吸附边缘环时的静电吸附力，从而减小了静电吸附装置的运行成本。
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今年以来中微公司新获得专利授权21个，较去年同期减少了27.59%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1651条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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