中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”

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2026年02月14日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”，专利申请号为CN202110591882.3，授权日为2026年2月13日。

中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”
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专利摘要：本发明公开了一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统，所述静电吸附装置包括装置本体以及位于装置本体内的静电产生模块与静电控制模块；所述静电产生模块用于产生静电，所述静电控制模块用于控制所述静电产生模块是否产生静电以及所产生静电的大小；所述静电吸附装置的底部设置有绝缘部件。本发明的静电吸附装置可产生静电真空反应腔内的吸附边缘环或颗粒物，实现在不打开真空反应腔的情况下更换受损耗的边缘环或移除真空反应腔内的颗粒物。此外，静电吸附装置底部的绝缘部件，可以提高静电吸附装置吸附边缘环时的静电吸附力，从而减小了静电吸附装置的运行成本。

中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统”
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今年以来中微公司新获得专利授权21个，较去年同期减少了27.59%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1651条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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AOI检测应用场景及行业发展机遇分析2024 2024年5月10日 来源：互联网 773 46 AOI检测，中文全称为自动光学检测，是一种基于光学原理的自动检测技术，主要用于电子元件、印刷电路板(PCB)和其他光学组装的检测。它通过摄像头自动扫描待检测物体，采集图像，并通过计算机算法对图像进行分析和处理，以实现快速、高精度的检测。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 AOI检测，中文全称为自动光学检测，是一种基于光学原理的自动检测技术，主要用于电子元件、印刷电路板(PCB)和其他光学组装的检测。它通过摄像头自动扫描待检测物体，采集图像，并通过计算机算法对图像进行分析和处理，以实现快速、高精度的检测。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 制造业越来越重视生产效率和产品质量，AOI检测作为一种高效且准确的自动化检测方法，将在制造业中得到更广泛的应用。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 AOI检测应用场景 (1)电子制造业：在电子制造业中，AOI检测被广泛应用于印刷电路板(PCB)的制造过程。它可以检测PCB上的焊点缺陷、元器件位置偏移、短路和开路等问题，确保产品质量和一致性。 (2)汽车零部件制造业：在汽车零部件制造业中，AOI技术可用于对汽车零部件的表面质量、尺寸、缺陷等进行自动化检测，确保产品的质量和安全性。这对于提高汽车制造的自动化水平、降低生产成本具有重要意义。 (3)光电子行业：在光电子行业中，AOI技术可用于对LED、LCD、OLED等光电子元件的外观、色彩、亮度等进行自动化检测。这有助于确保光电子元件的质量和性能，提高产品的竞争力。 (4)新能源行业：AOI检测设备也被广泛应用于新能源行业，例如对太阳能电池片、锂电池等进行自动化检测，提高产品的质量和效率。这对于推动新能源行业的发展具有重要意义。 (5)医疗设备制造：AOI视觉检测在医疗设备制造中起着关键的作用。它用于检测医疗设备中的焊接问题、元器件错误安装、电路板损坏等，以确保医疗设备的正确运行和安全性。 (5)其他领域：除了以上几个领域外，AOI检测技术还广泛应用于视频监控与安防、医学影像分析、工业质检、自动驾驶、环境监测、无人机航拍等领域。 根据中研普华产业研究院发布的显示： 随着电子产品市场的快速增长，特别是智能手机、平板电脑和物联网设备等电子产品的普及，对高质量电子器件的需求也在快速增长。这促使制造商对生产线的自动化和检测手段的要求提高，从而推动了AOI检测行业的发展。 发展智能制造，特别是推动企业数字化、智能化转型发展，要有一批服务供应商。重点培育主营业务收入10亿元以上的系统方案供应商超过150家，钢铁、石化、锂电池等领域系统集成能力达到国际先进水平，混线柔性生产、加工检测一体化、高精高可靠装配等解决方案取得重大突破，赋能企业数量超过3400余家。随着智能制造的推动，AOI检测作为智能制造的一部分，将在智能制造转型过程中发挥重要作用。 从全球AOI检测行业的主要市场参与者的分布来看，美国、德国、韩国、日本、以色列等国家，在AOI检测行业走在了世界前列。从区域市场的增速来看，根据KBV Research的数据，2022-2027年间全球AOI检测行业的市场规模增速最快的是拉丁美洲、非洲和中东地区，综合增速能够达到25.7%。此外，亚洲地区的增速也能够超过20%，达到21.6%。 在需求驱动下，本土企业不断崛起，目前国内AOI检测设备市场国产化水平较高，本土企业主要有矩子智能、亿科讯科技、振华兴科技、劲拓自动化、汉兴自动化、长川科技、神州视觉、精测电子等。 随着行业的不断发展，AOI检测系统能够更好地学习和适应不断变化的制造环境，提高检测的准确性和效率。此外，随着制造成本的下降，更多的制造商能够承担和采用这种高效的检测方法。人工智能技术的发展为AOI检测行业带来了新的机遇。 在激烈的市场竞争中，企业及投资者能否做出适时有效的市场决策是制胜的关键。报告准确把握行业未被满足的市场需求和趋势，有效规避行业投资风险，更有效率地巩固或者拓展相应的战略性目标市场，牢牢把握行业竞争的主动权。 更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的。 关注公众号 免费获取更多报告节选 免费咨询行业专家 相关深度报告REPORTS 11203 2935 3735 4535 5367 6235 推荐阅读 ...

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