水晶光电获得发明专利授权:“一种压印母版及其制备方法”

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2025年07月01日

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示水晶光电(002273)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种压印母版及其制备方法”,专利申请号为CN202011159005.0,授权日为2025年7月1日。

水晶光电获得发明专利授权:“一种压印母版及其制备方法”
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专利摘要:本发明提供一种压印母版及其制备方法,涉及微纳加工技术领域,包括:基底,在基底上设置有图案化结构,在图案化结构的刻蚀槽内的底壁和侧壁上设置有压印疏水膜层;压印疏水膜层的材质为含氟聚合物;图案化结构为硅基材质,且硅基材质中硅元素的质量分数为10%至100%;或,图案化结构为钼基材质,且钼基材质中钼元素的质量分数为10%至100%。从而能够使得图案化结构的每一个刻蚀槽内均对应形成致密的含氟聚合物,有效的避免了阴影效应导致的成膜质量较差的现象,同时,含氟气体的来源较为广泛,有效的降低制造压印母版的成本,便于后续压印成品的顺利脱模。

今年以来水晶光电新获得专利授权17个,较去年同期减少了5.56%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.08亿元,同比减3.8%。

通过天眼查大数据分析,浙江水晶光电科技股份有限公司共对外投资了30家企业,参与招投标项目57次;财产线索方面有商标信息54条,专利信息517条,著作权信息116条;此外企业还拥有行政许可35个。

数据来源:天眼查APP

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