京东方Ａ获得发明专利授权：“一种掩膜版、曝光设备和曝光方法”

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2025年08月16日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京东方Ａ（000725）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种掩膜版、曝光设备和曝光方法”，专利申请号为CN202211203997.1，授权日为2025年8月15日。

京东方Ａ获得发明专利授权：“一种掩膜版、曝光设备和曝光方法”
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专利摘要：本申请实施例提供了一种掩膜版、曝光设备和曝光方法。该掩膜版包括：有多个子掩膜图形组的第一掩膜子版和有多个透光区的第二掩膜子版。第二掩膜子版设置在第一掩膜子版的一侧，且能够相对第一掩膜子版移动。移动对位结构与第二掩膜子版连接，用于根据接收到的对位信号，控制第二掩膜子版移动，以使得在不同的曝光过程中透光区分别对应不同的子掩膜图形组。本申请实施例可以将多种掩膜版图形集成在一张掩膜版中，减少掩膜版使用数量，降低生产成本，同时减少生产时掩膜版的移动风险及其造成的产品工艺不良。

今年以来京东方Ａ新获得专利授权2412个，较去年同期减少了0.94%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了131.23亿元，同比增15.94%。

数据来源：天眼查APP

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